Product Introduction
전체
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SiC CVD SystemSiC CVD System고온 CVD 공정을 통해 SiC 소재의 안정적인 증착 및 성장을 구현하는 공정 시스템 입니다.
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Other ChambersRoll to Roll Chamber필름 및 Flexible 소재의 연속 코팅·증착 공정을 지원하는 Roll-to-Roll 방식의 진공 챔버입니다.
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Other ChambersAF Coater Chamber기판 표면에 기능성 박막을 균일하게 형성하기 위한 코팅 공정용 챔버입니다.
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Other ChambersCompact Chamber제한된 설치 공간에서도 효율적인 진공 공정이 가능하도록 설계된 Compact Type Chamber입니다.
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Other ChambersSVR Chamber고객의 공정 조건과 요구 사양에 맞춰 설계·제작되는 Custom Vacuum Chamber입니다.
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OLED Chambers10.5G 11th Buffer Chamber-35ToNOLED 제조 공정에서 기판을 안정적으로 대기·보관·이송하기 위한 진공 버퍼 챔버입니다.
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OLED ChambersTM Chamber진공 환경에서 기판을 각 공정 챔버로 정밀하게 이송하기 위한 Transfer Module Chamber입니다.
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OLED ChambersCVD Chamber박막 형성을 위한 CVD 공정을 안정적으로 수행할 수 있도록 설계된 진공 공정 챔버입니다.
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OLED ChambersLL Chamber대기와 진공 공정 구간 사이에서 기판의 반입·반출을 담당하는 Load Lock Chamber입니다.
