Product Introduction
OLED Chambers
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OLED Chambers10.5G 11th Buffer Chamber-35ToNOLED 제조 공정에서 기판을 안정적으로 대기·보관·이송하기 위한 진공 버퍼 챔버입니다.
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OLED ChambersTM Chamber진공 환경에서 기판을 각 공정 챔버로 정밀하게 이송하기 위한 Transfer Module Chamber입니다.
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OLED ChambersCVD Chamber박막 형성을 위한 CVD 공정을 안정적으로 수행할 수 있도록 설계된 진공 공정 챔버입니다.
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OLED ChambersLL Chamber대기와 진공 공정 구간 사이에서 기판의 반입·반출을 담당하는 Load Lock Chamber입니다.
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OLED ChambersPI Oven ChamberOLED 제조 공정에서 PI 소재의 열처리 및 경화 공정을 수행하는 오븐 챔버입니다.
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OLED ChambersTransfer Chamber진공 상태를 유지하면서 기판을 각 공정 구간으로 안정적으로 이송하기 위한 챔버입니다.
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OLED ChambersInline Chamber연속 생산 공정에서 기판의 원활한 이송과 공정 연계를 지원하는 인라인 챔버입니다.
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OLED ChambersBacking ChamberOLED 제조 공정의 기판 처리 및 후면 공정을 지원하도록 제작된 진공 챔버입니다.
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OLED ChambersPanel Transfer System대형 디스플레이 패널을 공정 간 안전하고 정밀하게 이송하기 위한 자동화 시스템입니다.
