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설계부터 설치까지
정밀함이 만드는 반도체의 미래

에프티엘은 정밀 진공 챔버 기술로
고객의 공정을 완성합니다.

공정의 요구를 설계에 담고
장비로 구현합니다.

PRODUCTS

(주)에프티엘의 제품 기술을 확인해 보세요.

SiC CVD System

고온 CVD 공정을 통해 SiC 소재의 안정적인 증착 및 성장을 구현하는 공정 시스템 입니다.

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SiC CVD System

Roll to Roll Chamber

필름 및 Flexible 소재의 연속 코팅·증착 공정을 지원하는 Roll-to-Roll 방식의 진공 챔버입니다.

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Roll to Roll Chamber

10.5G 11th Buffer Chamber-35ToN

OLED 제조 공정에서 기판을 안정적으로 대기·보관·이송하기 위한 진공 버퍼 챔버입니다.

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10.5G 11th Buffer Chamber-35ToN

TM Chamber

진공 환경에서 기판을 각 공정 챔버로 정밀하게 이송하기 위한 Transfer Module Chamber입니다.

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TM Chamber

CVD Chamber

박막 형성을 위한 CVD 공정을 안정적으로 수행할 수 있도록 설계된 진공 공정 챔버입니다.

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CVD Chamber

LL Chamber

대기와 진공 공정 구간 사이에서 기판의 반입·반출을 담당하는 Load Lock Chamber입니다.

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LL Chamber

PI Oven Chamber

OLED 제조 공정에서 PI 소재의 열처리 및 경화 공정을 수행하는 오븐 챔버입니다.

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PI Oven Chamber

Transfer Chamber

진공 상태를 유지하면서 기판을 각 공정 구간으로 안정적으로 이송하기 위한 챔버입니다.

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Transfer Chamber

Inline Chamber

연속 생산 공정에서 기판의 원활한 이송과 공정 연계를 지원하는 인라인 챔버입니다.

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Inline Chamber

Backing Chamber

OLED 제조 공정의 기판 처리 및 후면 공정을 지원하도록 제작된 진공 챔버입니다.

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Backing Chamber

Panel Transfer System

대형 디스플레이 패널을 공정 간 안전하고 정밀하게 이송하기 위한 자동화 시스템입니다.

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Panel Transfer System

COMPANY

설계·제작·설치·시운전까지 책임지는 토탈 솔루션 파트너

회사소개

진공 챔버 기술 분야,
한 길을 걸어온 에프티엘

핵심역량

고성능을 구현하는 에프티엘의
원스톱 엔지니어링 역량

견적 · 기술 문의

제품 사양, 납기, 맞춤 설계 문의 등
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자료실

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회사 위치

에프티엘에 찾아오시는 길을
소개해 드립니다.

PLANT 1

제 1공장으로 오시는 길을 안내해 드립니다.

제 1공장충남 천안시 서북구 직산읍 성진로 405

041-561-1195 041-562-1195
에프티엘 제1공장 전경

PLANT 2

제 2공장으로 오시는 길을 안내해 드립니다.

제 2공장충남 천안시 서북구 직산읍 양당율금길 91

041-561-1195 041-562-1195
에프티엘 제2공장 내부
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