Product Introduction
전체
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OLED ChambersPI Oven ChamberOLED 제조 공정에서 PI 소재의 열처리 및 경화 공정을 수행하는 오븐 챔버입니다.
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OLED ChambersTransfer Chamber진공 상태를 유지하면서 기판을 각 공정 구간으로 안정적으로 이송하기 위한 챔버입니다.
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OLED ChambersInline Chamber연속 생산 공정에서 기판의 원활한 이송과 공정 연계를 지원하는 인라인 챔버입니다.
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OLED ChambersBacking ChamberOLED 제조 공정의 기판 처리 및 후면 공정을 지원하도록 제작된 진공 챔버입니다.
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OLED ChambersPanel Transfer System대형 디스플레이 패널을 공정 간 안전하고 정밀하게 이송하기 위한 자동화 시스템입니다.
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OLED ChambersChamber Door높은 기밀성과 안정적인 개폐 성능을 확보하도록 제작된 진공 챔버 도어입니다.
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OLED ChambersCassette Chamber Door대형 기판 및 카세트의 반입·반출과 진공 유지를 위한 챔버 도어 시스템입니다.
