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OLED Chambers
Chamber Door
높은 기밀성과 안정적인 개폐 성능을 확보하도록 제작된 진공 챔버 도어입니다.
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Cassette Chamber Door
대형 기판 및 카세트의 반입·반출과 진공 유지를 위한 챔버 도어 시스템입니다.
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