SiC CVD System
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SiC CVD System
SiC CVD System
고온 CVD 공정을 통해 SiC 소재의 안정적인 증착 및 성장을 구현하는 공정 시스템 입니다.
재질
SUS 304, SUS 316
1 Axis
Φ1,005mm / Max Rings: 30EA
5 Axis
Φ1,660mm / Max Rings: 150EA
7 Axis
Φ1,900mm / Max Rings: 210EA
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