SiC CVD System
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SiC CVD System
SiC CVD System
高温CVDプロセスにより、SiC材料の安定した成膜・成長を実現するプロセスシステムです。
材質
SUS 304, SUS 316
1 Axis
Φ1,005mm / Max Rings: 30EA
5 Axis
Φ1,660mm / Max Rings: 150EA
7 Axis
Φ1,900mm / Max Rings: 210EA
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