Product Introduction
OLED Chambers
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OLED Chambers10.5G 11th Buffer Chamber-35ToNOLED製造工程において、基板を安定して待機・保管・搬送するための真空バッファーチャンバーです。
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OLED ChambersTM Chamber真空環境下で基板を各プロセスチャンバーへ高精度に搬送するためのトランスファーモジュールチャンバーです。
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OLED ChambersCVD Chamber薄膜形成のためのCVDプロセスを安定して行えるよう設計された真空プロセスチャンバーです。
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OLED ChambersLL Chamber大気環境と真空プロセス領域の間で基板の搬入・搬出を行うロードロックチャンバーです。
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OLED ChambersPI Oven ChamberOLED製造工程において、PI材料の熱処理および硬化工程を行うオーブンチャンバーです。
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OLED ChambersTransfer Chamber真空状態を維持しながら、基板を各プロセス領域へ安定して搬送するためのチャンバーです。
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OLED ChambersInline Chamber連続生産工程における基板のスムーズな搬送とプロセス間の連携を支援するインラインチャンバーです。
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OLED ChambersBacking ChamberOLED製造工程における基板処理および裏面プロセスをサポートするために設計された真空チャンバーです。
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OLED ChambersPanel Transfer System大型ディスプレイパネルを各工程間で安全かつ高精度に搬送するための自動化システムです。
