Product Introduction
すべて
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SiC CVD SystemSiC CVD System高温CVDプロセスにより、SiC材料の安定した成膜・成長を実現するプロセスシステムです。
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Other ChambersRoll to Roll Chamberフィルムおよびフレキシブル材料の連続コーティング・成膜工程に対応するRoll-to-Roll方式の真空チャンバーです。
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Other ChambersAF Coater Chamber基板表面に機能性薄膜を均一に形成するためのコーティング工程用チャンバーです。
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Other ChambersCompact Chamber限られた設置スペースでも効率的な真空プロセスを実現できるよう設計されたコンパクトタイプのチャンバーです。
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Other ChambersSVR Chamberお客様のプロセス条件および要求仕様に合わせて設計・製作されるカスタム真空チャンバーです。
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OLED Chambers10.5G 11th Buffer Chamber-35ToNOLED製造工程において、基板を安定して待機・保管・搬送するための真空バッファーチャンバーです。
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OLED ChambersTM Chamber真空環境下で基板を各プロセスチャンバーへ高精度に搬送するためのトランスファーモジュールチャンバーです。
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OLED ChambersCVD Chamber薄膜形成のためのCVDプロセスを安定して行えるよう設計された真空プロセスチャンバーです。
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OLED ChambersLL Chamber大気環境と真空プロセス領域の間で基板の搬入・搬出を行うロードロックチャンバーです。
