SiC CVD System

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产品介绍

Product Introduction

SiC CVD System
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SiC CVD System

本工艺系统通过高温CVD工艺，实现SiC材料的稳定沉积与生长。
材质
SUS 304, SUS 316
1 Axis
Φ1,005mm / Max Rings: 30EA
5 Axis
Φ1,660mm / Max Rings: 150EA
7 Axis
Φ1,900mm / Max Rings: 210EA
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