Product Introduction
OLED Chambers
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OLED Chambers10.5G 11th Buffer Chamber-35ToN用于OLED制造工艺中基板的稳定暂存、保管及传送的真空缓冲腔体。
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OLED ChambersTM Chamber用于在真空环境下将基板精确传送至各工艺腔体的传送模块腔体。
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OLED ChambersCVD Chamber为稳定进行薄膜沉积CVD工艺而设计的真空工艺腔体。
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OLED ChambersLL Chamber用于在大气环境与真空工艺区域之间进行基板装载和卸载的装载锁定腔体。
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OLED ChambersPI Oven Chamber用于OLED制造工艺中PI材料热处理及固化工艺的烘箱腔体。
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OLED ChambersTransfer Chamber在保持真空状态的同时，将基板稳定传送至各工艺区域的腔体。
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OLED ChambersInline Chamber用于连续生产工艺中，实现基板顺畅传送及各工序衔接的在线式腔体。
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OLED ChambersBacking Chamber用于支持OLED制造工艺中的基板处理及背面工艺的真空腔体。
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OLED ChambersPanel Transfer System用于在各工艺之间安全、精确传送大型显示面板的自动化系统。
