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Roll to Roll Chamber
用于薄膜及柔性材料连续涂布和沉积工艺的Roll-to-Roll真空腔体。
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AF Coater Chamber
用于在基板表面均匀形成功能性薄膜的涂布工艺腔体。
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Compact Chamber
采用紧凑型设计，可在有限的安装空间内实现高效真空工艺的腔体。
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SVR Chamber
根据客户的工艺条件及要求规格进行定制设计和制造的真空腔体。
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