Product Introduction
すべて
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OLED ChambersPI Oven ChamberOLED製造工程において、PI材料の熱処理および硬化工程を行うオーブンチャンバーです。
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OLED ChambersTransfer Chamber真空状態を維持しながら、基板を各プロセス領域へ安定して搬送するためのチャンバーです。
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OLED ChambersInline Chamber連続生産工程における基板のスムーズな搬送とプロセス間の連携を支援するインラインチャンバーです。
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OLED ChambersBacking ChamberOLED製造工程における基板処理および裏面プロセスをサポートするために設計された真空チャンバーです。
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OLED ChambersPanel Transfer System大型ディスプレイパネルを各工程間で安全かつ高精度に搬送するための自動化システムです。
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OLED ChambersChamber Door高い気密性と安定した開閉性能を確保するよう設計された真空チャンバードアです。
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OLED ChambersCassette Chamber Door大型基板およびカセットの搬入・搬出と真空状態の維持を目的としたチャンバードアシステムです。
